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高壓硅堆內部是由多只高壓整流二極管（硅粒）串聯組成，檢測時，可用萬用表的R×10k檔測量其正、反向電阻值。正常的高壓硅堆，其正向電阻值大于200kΩ，反向電阻值為無窮大。若測得其正、反向均有一定電阻值，則說明該高壓硅堆已軟擊穿損壞。

另一種方法是：高壓硅堆有整流功能，將萬用表的量程開關撥至直流電壓檔250V或500V檔后，如圖1d所示串聯高壓硅堆并接在220V交流電源上。由于高壓硅堆的整流作用，萬用表指針的偏轉反映了半波整流后的電流平均值，因而高壓硅堆與萬用表就構成了一只半波整流式的交流電壓表。

當被測高壓硅堆按照正向接法連接時，萬用表讀數在30V以上時即為合格。當按反向接法連接時，萬用表指針應反向偏轉。若萬用表指針始終不動，則可能是高壓硅堆內部斷路，使電流不能通過萬用表，但也可能是高壓硅堆已擊穿。短路時交流電壓雖能直接加于萬用表，然而由于交流電頻率為50Hz，萬用表指針來不及擺動，所以量程開關撥在直流電壓檔的萬用表總是處于零位上。

因此，判斷高壓硅堆短路和斷路，只要把萬用表的量程開關撥至交流電壓250V或500V檔，若讀數為220V交流電壓值，則證明被測高壓硅堆短路，若此時讀數為零，則表明高壓硅堆內部已斷路。